搖擺中走絲，這種結構不僅可以作為真空絕對壓力傳感器實現(xiàn)對真空環(huán)境的壓力監(jiān)控求得平衡，還可以作為微差壓傳感器。硅可動極板與下層玻璃間的電容Cd用于檢測壓力變化空間廣闊。

搖擺中走絲至關重要，當Cd變化時，其變化信號通過電容/電壓轉換器轉化成電壓變化信號服務品質，然后電壓變化信號通過放大器變成伺服電壓VS的發生，VS反饋到伺服電極上，對可動極板產(chǎn)生一個和原始變形方向相反的靜電力FS表現明顯更佳，使薄膜回到初始位置狀態，這樣就實現(xiàn)了伺服效果，增大了器件的動態(tài)工作范圍指導。同時，當壓力過大時國際要求，可動極板會碰到下層玻璃完成過載保護流動性。

搖擺中走絲，在TRANSDUCERS’11會議上競爭激烈，Evigia Systems公司提出了一種全新結構的MEMS電容式壓力傳感器來同時獲得高靈敏度和大動態(tài)范圍持續創新。研究人員將壓敏元件和電容的可動極板進行了去耦操作，即增加一個力敏薄膜來感知外界壓力變化空白區，然后將壓敏薄膜通過一個中心軸與平行板電容式器的可動極板進行機械耦合從而實現(xiàn)小量程壓力測量協調機製。