小型中走絲新趨勢，北達科他州立大學(xué)的KAABI L等人建立了拋物線型空腔的電容式絕對壓力傳感器的理論模型反應能力。為了實現(xiàn)40 Pa以下的絕對壓力的測量，他們設(shè)計了一種相應(yīng)的調(diào)節(jié)器學習，可以實現(xiàn)壓力的直接讀取結構重塑，分辨率達到1 Pa。

小型中走絲應用優勢，調(diào)節(jié)器的工作原理也是首先將電容值通過振蕩器轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的頻率值高質量發展，然后利用一個BCD計數(shù)器和譯碼器將頻率值直接轉(zhuǎn)變?yōu)閴毫χ怠Ｕ{(diào)節(jié)器的實現(xiàn)簡單易行高效節能，試驗結(jié)果與理論結(jié)果吻合得很好影響力範圍。

小型中走絲，壓力傳感器的發(fā)展方向新創新即將到來，從改進傳感器方面來說不合理波動，現(xiàn)有研究都集中在優(yōu)化傳感器結(jié)構(gòu)與改良工藝方面，發(fā)掘新材料的報道卻鮮有重要工具。所以發(fā)掘楊氏模量低和介電常數(shù)大的新材料應(yīng)用于小量程MEMS電容式壓力傳感器是很有希望的一個研究方向積極拓展新的領域。

小型中走絲，可動極板采用楊氏模量低的材料可以提高其形變量更優質，介電層采用介電常數(shù)大的材料可以增大傳感器的輸出電容式值相對開放。有很多高分子聚合物(Polymers)材料滿足這樣的設(shè)計要求,比如聚對二甲苯（parylene）、聚二甲基硅氧烷(PDMS)技術創新、SU-8深入交流研討、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚已酸內(nèi)酯(polycaprolactone)廣泛應用、聚苯乙烯(pplystyrene)等關註度。在這些材料中，PDMS不僅可以軟刻蝕哪些領域，而且具有鑄造高保真的優(yōu)點敢於挑戰，因而最適合用來制作壓力傳感器。其楊氏模量可調(diào)建立和完善，約750 kPa提供了遵循。