中走絲那個好，介紹了電容式傳感器在小量程壓力測量領(lǐng)域的優(yōu)勢和目前研制小量程MEMS電容式壓力傳感器的技術(shù)難點充分發揮。從實現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程壓力測量的不同方法出發(fā)去完善，詳細論述了國內(nèi)外的研究成果、關(guān)鍵技術(shù)及應用情況問題分析。

中走絲那個好培養，最后分析總結(jié)了小量程MEMS電容式壓力傳感器的發(fā)展方向與挑戰(zhàn)。如今導向作用，用于測量中等壓力(0.1～10 MPa)的MEMS傳感器已經(jīng)相當成熟方案，并且已經(jīng)實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。工作壓力低于0.1 MPa者卻不多見十大行動，遠不能滿足小量程壓力測量需求左右。

中走絲那個好，小量程壓力測量主要應用于大氣壓力測量和生物體內(nèi)部的壓力測量綜合措施。氣壓測量在氣象可靠保障、航空、實驗室等條件中運用頻繁設計標準。在氣象學領(lǐng)域里開展，壓力數(shù)據(jù)是估算大氣中水汽含量不可或缺的參數(shù)。

中走絲那個好充分發揮，又如發展成就，根據(jù)氣壓值隨海拔高度線性降低的關(guān)系可以實時獲取航天器飛行時的高度位置信息。這些應用領(lǐng)域的氣壓值均在一個大氣壓（0.1 MPa)以下重要方式，而且需要傳感器便攜式和集成化開展面對面。