精密中走絲有所提升，在臨床醫(yī)療過程中聽得進，實時、準(zhǔn)確地監(jiān)測人體各種壓力指標(biāo)的變化能對診斷和治療起到非常積極的作用有所增加。這些被測壓力都比較小各項要求，青光眼的眼壓范圍在10～100 kPa之間，人類與外部接觸所產(chǎn)生的壓力大約在0～220 kPa之間越來越重要的位置。除此之外新技術，傳感器還需要植入生物體中，所以體積要微小并能進(jìn)行非接觸式測量順滑地配合。因此深入，小量程MEMS壓力傳感器應(yīng)用前景廣泛，對其研究具有重要意義前沿技術。

精密中走絲基礎，由于作用壓力小，靈敏度成為了制約小量程MEMS壓力傳感器發(fā)展和應(yīng)用的難點多種方式。通常對外開放，靈敏度的提高會導(dǎo)致線性度的降低，反之亦然。要成功研制出小量程壓力傳感器資料，必須首先解決小量程高靈敏度輸出與超薄力敏膜片大撓度引起的非線性誤差之間的矛盾廣泛應用。

精密中走絲，MEMS壓力傳感器多種多樣橫向協同，與其他類型的傳感器相比組合運用，電容式壓力傳感器不僅結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高迎難而上、動態(tài)響應(yīng)特性好積極、溫度漂移小，而且能夠進(jìn)行非接觸式的無線無源測量堅持先行。