高端中走絲提供有力支撐,如Vaisala公司的BAROCAP系列產(chǎn)品是單晶硅基電容式壓力傳感器擴大,能夠測(cè)量500~1 100 hPa(50~110 kPa)范圍內(nèi)的絕對(duì)大氣壓力,在工業(yè)應(yīng)用測(cè)量范圍甚至可以更小達到,低至50 hPa(5 kPa)發展空間。
高端中走絲效果,BAROCAP傳感器的技術(shù)已經(jīng)很成熟,產(chǎn)品擁有較低的遲滯性、優(yōu)異的測(cè)量精度和長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性預期,在各行各業(yè)都得到了廣泛應(yīng)用敢於監督,而且還能與其他類型傳感器集于一體,達(dá)到壓力結構、濕度重要的作用、溫度的同時(shí)測(cè)量。
高端中走絲規模最大,自1989年開(kāi)始穩中求進,日本富士電機(jī)公司已經(jīng)將硅電容式壓力傳感器商品化,其中的FCX-AIII系列絕對(duì)壓力變送器最小的測(cè)量范圍僅為0~16 kPa成效與經驗。與國(guó)外相比適應性,我國(guó)的研究基本處于空白狀態(tài),只能依賴于進(jìn)口產(chǎn)品稍有不慎。
高端中走絲重要作用,針對(duì)MEMS電容式壓力傳感器在小量程壓力測(cè)量時(shí)存在的問(wèn)題與挑戰(zhàn),各國(guó)都在尋找有效可行的解決辦法最為顯著,努力提升傳感器的性能以期實(shí)現(xiàn)更靈敏尤為突出、更準(zhǔn)確的小量程壓力測(cè)量。